不透明石英坩埚

石英玻璃坩埚基本分为两种，

一种是用电弧法制的不透明石英坩埚，外径200-600mm。

一种是用气炼法生产的透明石英玻璃坩埚，外径80-200mm。

用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅不可少的基础材料。目前逐步取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

气炼石英坩埚

技术参数：　

杂质含量：　　

FLH211/221杂质元素平均值

型号 Al Fe Ca Cu K Na Li B

FLH211 21.3 0.94 1.88 0.05 0.4 2.06 1.66 0.16

FLH221 15.2 0.6 0.6 〈0.05 0.9 0.7 0.7 0.08

产品规格:

外径

外径偏差 高度 厚度 底部弧度 边缘弧度 偏壁度

102 +0.5，-0.8 90±1.5 2.5±0.5 100 10 0.3

130 +0.5，-0.8 110±1.5 2.5±0.5 150 15 0.3

140 +0.5，-0.8 110±1.5 2.5±0.5 160 16 0.3

150 +0.5，-1.0 110±1.5 2.5±0.5 208 28 0.3

160 +0.5，-1.0 120±1.5 2.8±0.5 204 31 0.4

170 +0.5，-1.0 130±2 2.8±0.5 216 33 0.4

180 +0.5，-1.0 130±2 2.8±0.5 221 35 0.4

202 +0.5，-1.0 155±2 3.5±0.5 234 51 0.4

 

电弧石英坩埚

技术参数：

型号　　 Al Fe Ca Cu K Na Li B

FLH422 16.2 0.6 0.7 ﹤0.05 0.7 0.9 0.7 ﹤0.2

产品规格：

尺寸　　　 外径 高度 壁厚 R r *大间隙值

W1 W2 W3

10〞 254±2 190±3 6.0±1.5 6.0±1.5 7.5±1.5 305 70 3.5

12〞 304±3 329±3 6.0±1.5 6.0±1.5 8±1.5 305 80 3.5

14〞 354±3 280±3 7.5±1.5 7.5±1.5 9±1.5 400 90 3.5

16〞 404±3 305±3 8.5±1.5 9±1.5 10±1.5 450 90 3.5

18〞 457±3 355±3 8.5±2 8.5±2 10±2 500 90 4.5

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