ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
Kollmorgen直流力矩电机
￥8.5 元/个
Micron
￥9.5 元/个
Aerotech气浮转台
￥11 元/个
AerotechABL8000气浮平台
￥8.5 元/个
AerotechABL2000气浮平台
￥20 元/个
AerotechABL1500精密气浮平台
￥10 元/个
KollmorgenCDDR力矩电机
￥8.5 元/个
DDR力矩电机
￥8 元/个
Kollmorgen伺服驱动器
￥25 元/个
Kollmorgen伺服电机
￥11 元/个
