Aerotech气浮转台

ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位精度，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性（无齿槽效应）
3. 极佳的运动性能，误差小，无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承，无机械接触
台面直径：128~278mm
反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
异步轴跳： 20nm
异步径跳： 20nm

ABRT超精密转台
1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应）
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
异步轴跳 <20nm
异步径跳 <20nm

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