真空溅射镀膜电源

• 本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
  有以下特点：1、恒压，恒功率
  　　　　　　2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
  　　　　　　3、工艺重复性好。
  　　　　　　4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。

   

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• 技术参数

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  品名	真空镀膜电源
  型号	SPWM系列
  输入	相数	单相或三相
  	电压	220/380V
  	频率	50Hz
  	输入方式	4线（含地线）
  输出	波形	直线
  	功率	30KW /60KW /100KW（可定制）
  	电压	0—1200V（可定制）
  	稳定度	≤1%
  	电流	0—200A（可定制）
  	稳定度	≤1%
  	纹波及杂讯	≤5%或≤3%
  	效率	≥90%
  控制	功率	可选择
  	电压	恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
  	电流	可选择
  保护	具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
  冷却	风冷
  外型	外壳
  	尺寸(W*D*H)	482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
  重量	30KG（30KW）
  备注

   

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