S48 32高精度气体质量流量控制器，高精度质量流

编号 项目 S48?32/HMT 1 流量规格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2%～100% 6 流量测量范围 0～100% 7 响应时间 2s（T98，设定值的±2%?F.S.） 8 工作环境温度 5℃～50℃ 9 精度保证温度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 ～5L/min?(50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min?(100～300)kPa(D)? 30L/min～50L/min?(150～300)kPa(D) 14 耐压 3MPa 15 泄漏率 1×10-8?Pa?m3/s?（He） 16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶 17 管路接头 Swagelok:1/4″Φ6?Φ10?VCR:1/4″3/8″ 18 供电电源 ±15VDC(±5%)??+15V＜100mA,-15V＜150mA +24VDC(宽电压+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供电时) 19 设定信号 (0～5)VDC?输入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量输出信号 (0～5)VDC?负载能力≤3mA 21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 0.9

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