S48 300数字流量控制器，堀场汇博隆质量流量控

S48?300/HMT?MFC技术指标 表1?S48?300/HMT数字流量控制器技术指标 编号 项目 S48?300/HMT 1 流量规格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min?(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2%-100%F.S. 6 流量测量范围 0-100%F.S. 7 响应时间 ≤?1?sec 8 工作环境温度 5-50℃ 9 精度保证温度 15-35℃ 10 精度 ±1.0%?S.P.(≥30%?F.S.）；±0.30%?F.S.（＜30%?F.S.) 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 -5L/min?(50-300)kPa(D)?????????????????????????10L/min-30L/min?(100-300)kPa(D)????????????????50L/min?(150-300)kPa(D) 14 耐压 3MPa(G) 15 泄漏率 ＜1×10-8Pa·m3/s(He) 16 接触气体材料 316L，Viton??氟橡胶，PTFE 17 管路接头 Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″;?VCR:1/4″,?3/8″ 18 供电电源 ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA 19 设定信号 数字：RS485/RS232 模拟：0?-?+5V，输入阻抗＞10kΩ 20 流量输出信号 数字：RS485/RS232 模拟：0?-?+5V，负载能力≤3mA 21 通讯接口 数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus?RTU?协议从机，设备号可选范围0-15 22 重量(kg) 0.9

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