产品特性
高精度测量
LK系列利用*新开发的CCD作为接收光线的元件,并用32位之超高速RISC处理器进行信号处理,不论目标物体表面性质如何,均可提供高精度测量。利用LK-031能获得F.S.之±0.1%的1μm直线性之析像度。
30μm直径的可见激光射束光点
KEYENCE之独特光学系统使透镜的像差达到*小,从而使LK-031具有30μm直径之*小点直径。利用此特点可精确地测量目标物体的表面轮廓。
带有宽大光束光点的新光学系统(LK-036/LK-086) 新型
通过均分由工件粗糙面的微小投影造成的漫散反射光来防止数据波动。可保证在带有毛口及细微畸变等的表面上进行可靠的测量。
测量镜面和透明物体(LK-011) 新型
利用镜面模式,可以测量镜面物体和透明物体。
稳定地测量各种不同目标物体的表面
专利审查中的LFTC电路能测量多种色彩或式样的目标。无需另外调节即可测量黑色橡胶等低反射率的目标。
感测头为IP-67之等级
即使是在制造工序等严苛环境下,亦可获得精确的测量结果。
CCD激光位移传感器使用三角形测量系统。
以前的激光位移传感器利用PSD(位敏器)作为接收光线的元件。而LK系列利用CCD作为接收光线的元件。目标物体反射的光线穿过接收器的透镜,接收器的透镜将光线聚焦在PSD或CCD上。PSD型传感器利用PSD上的所有射束光点之光量分布来决定射束光点的中心,并由此判定目标位置。但是,光量分布会受目标物体的表面状况影响,造成测量值的变动。CCD检测射束光点之光量分布峰值处的像素,并将此判定为目标位置。所以,无论射束光点之光量如何分布,CCD均能获得稳定且高精度的结果。